润斯普瑞超声科技获得半导体晶圆超声波清洗机专利进步晶圆的清洗功率
时间: 2024-11-24 12:51:57 | 作者: leyucom乐鱼体育
金融界2024年11月21日音讯,国家知识产权局信息数据显现,润斯普瑞超声科技(姑苏)有限公司获得一项名为“一种半导体晶圆超声波清洗机”的专利,授权公告号CN 222020247 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本实用新型触及半导体晶圆清洗技术领域,详细触及一种半导体晶圆超声波清洗机,包含清洗机主体,所述清洗机主体右侧中部设有进水管,清洗机主体左边底部设有出水管,且清洗机主体左边铰接有防护门,所述进水管左端与清洗机主体内设有的清洗腔贯穿衔接,所述清洗腔左边底部与出水管贯穿衔接,清洗机主体内清洗腔的外围设有作业腔。本实用新型中,经过电缸与抛动架的合作,对晶圆起到一个全面的整理洗刷效果,有利于进步晶圆的清洗功率经过设置紧固组件,起到一个快速固定清洗网篮的效果,一起,清洗网篮内可放置多个晶圆,有利于进步晶圆的清洗功率。
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