中微公司获得发明专利授权:“一种绝缘窗及其操控方法、及等离子体处理装置”
时间: 2024-12-25 07:51:55 | 作者: leyucom乐鱼体育
证券之星消息,根据天眼查APP多个方面数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种绝缘窗及其操控方法、及等离子体处理装置”,专利申请号为CN3.7,授权日为2024年11月8日。
专利摘要:本发明提供了一种绝缘窗及其操控方法、及等离子体处理装置,通过在绝缘窗上设置加热装置与半导体制冷器,实现了对绝缘窗温度的均一控制,半导体制冷器可以大大降低窗中心的温度,另外,半导体制冷器能轻松实现加热和冷却双重功能。
今年以来中微公司新获得专利授权100个,较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元,同比增94.58%。
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