捷捷微电请求操控电路以及刻蚀真空体系专利可避开大气回灌现象发生

时间: 2025-01-18 17:32:40 |   作者: leyucom乐鱼体育

  金融界2025年1月16日音讯，国家知识产权局信息数据显现，捷捷微电（南通）科技有限公司请求一项名为“操控电路以及刻蚀真空体系”的专利，公开号CN 119297066 A，请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现，本请求供给了一种操控电路以及刻蚀真空体系，其间，该操控电路，包含：电源模块、互锁操控模块以及开关模块；互锁操控模块包含：供电操控单元以及衔接操控单元；衔接操控单元的输出端别离与等离子刻蚀机的进口载锁以及等离子刻蚀机的出口载锁衔接；供电操控单元用于在开关模块导通时上电，并向衔接操控单元宣布电磁信号；衔接操控单元用于在电磁信号的效果下，在衔接操控单元的输出端与进口载锁以及等离子刻蚀机的真空抽取设备之间构成回路，以将进口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取设备导通，且将出口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取设备断开。本请求可以对等离子刻蚀机的真空抽取进程来操控，然后有很大成效防止了大气回灌现象的发生。

  天眼查资料显现，捷捷微电(南通)科技有限公司，成立于2020年，坐落南通市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱168000万人民币，实缴本钱168000万人民币。经过天眼查大数据分析，捷捷微电(南通)科技有限公司参加招投标项目30次，专利信息55条，此外企业还具有行政许可10个。