人民日报海外版：吴汉明：集成电路工业排头兵

时间: 2024-11-04 07:17:16 |   作者: 新闻中心

  吴汉明博士1976年结业于我国科技大学。1978年他成为“文革”后我国第一批硕士研讨生，并于1987年在我国科学院力学研讨所取得工学博士学位。他先后在美国德州大学奥斯汀分校和加州大学伯克利分校攻读博士后，一起在加州诺发公司和英特尔公司任高档研制工程师。2001年吴汉明参与中芯世界，任首席技能官。他的研制效果经过中芯世界工业化完结了60多亿美元产量。

  2003年，吴汉明参与并辅导了国家“863项目”《高布满电感等离子体刻蚀机研制》。他从根底原理教起，把在国外学习到的先进的技能一点点没有保留地传授给国内的工程师，并与他们一起研讨关键技能的解决方案，活跃推进工业化使用。经过数年尽力，该刻蚀设备成功地在中芯世界天津厂出产线上得到使用。这是国产设备初次在先进集成电路大出产线上的成功使用，打破了我国集成电路制作配备完全由国外企业独占的局势。

  在“十一五”国家严重专项中，吴汉明掌管了“65-45-32纳米成套产品工艺研制”项目。这是我国在集成电路职业史上投入资金规划最大（共投入31亿元人民币），难度跨过最高（65-45-32纳米三个技能代），参与单位最多的成套工艺研制项目。该工业化效果取得北京市2012年科学技能进步一等奖和2013年国家科学技能进步二等奖。

  在吴汉明的北京学者作业室里，作业着一批博士和硕士结业生。作为公司的研制技能副总裁，他除了要求部属完结作业任务外，还鼓舞他们进行先进工艺研讨。在他看来，博士或硕士结业后到企业作业，也应该和在校园或科研院所作业相同，对先进的技能坚持热心。

  他并不把自己把握的知识和才能当成私房秘籍，而是公开地和部属共享。他事必躬亲，常常和部属讨论技能问题。我们一起对新器材、新工艺展开研讨，提出新主意，并用试验验证。许多专利和论文，就是在这种“老带新”的形式下发生的。假如部属在做先进研制时遇到瓶颈，不管多忙，也总能得到吴汉明的协助，上下级的联系变得更像是师生联系。

  吴汉明每年会在公司举行两场《集成电路工业先导工艺技能开展》的训练讲座，面向全公司工程师授课，有力地提升了年青工程师技能才能。

  2010年，吴汉明中选北京市经济开发区第一批特聘专家。他发挥自己的技能专长，为北京经济开发区建造献计献策。在区委书记和区长的咨询会议上，他屡次提出了加速开展北京经济开发区的有利主张。比方，引入企业时，经过产量和排污的份额来决议引入支撑强度等。

  在繁忙的科研作业之外，作为大兴区政协委员和北京市人大代表，吴汉明非常热心肠参与为贫穷居民救助捐款等公益活动。

  不久前，吴汉明责任参与了由北京经济开发区策划的“集成电路制作技能开展”的科普影视片拍照，向全社会遍及集成电路的知识，为进步全民科学本质和科学知识尽力奉献自己的力气。