光刻机减振器打破者陈学东院士泄漏“成功诀窍”

时间: 2024-11-04 07:17:58 |   作者: 新闻中心

  “正是有了无数个一丝不苟的攻关，才促成了我国首台IC光刻机的面世。”5月10日，华中科技大学（以下简称华科大）“科学家精力进校园”系列活动新闻发布会上，我国工程院院士、华科大教授陈学东在答复《我国科学报》发问时表明，科学研讨往往没有捷径可走，严重科学技能打破靠的是对“敢为人先、勇攀顶峰、一丝不苟、精雕细镂”等科学家精力的长时间坚持。

  据悉，光刻机是芯片制作流程中光刻工艺的中心设备，可谓半导体制作业皇冠上的明珠，我国在该范畴长时间落后，一度被“卡脖子”。因为无法打破技能瓶颈，我国减振器长时间依靠进口。为了打破这一技能独占，2002年起，长时间从事机械动力学规划与操控研讨的陈学东，开端研制国产减振器。他22年如一日，总算霸占光刻机减振器研制瓶颈，为我国严重配备制作的自主可控作出重要贡献。

  “能否结合光刻机减振器研制阅历，谈一谈科学研讨要想获得严重打破，需求秉持哪些精力？”面临《我国科学报》的现场发问，陈学东坦言，不管是前沿科学研讨仍是实践工程攻关，都需求从始至终坚持追求真理、谨慎治学的求实精力。

  “记住2007年咱们在做90纳米IC光刻机样机调试时，偶然会碰到工作台呈现一种反常的小幅振荡现象，以往阅历和所谓的知识无法解说。假如不搞清楚原因，不处理这一种偶发瑕疵，就可能对曝光成像的良率形成影响。”他介绍，为处理这一难题，他带领团队和企业技能人员联合协作、集智攻关，通过三四年的尽力，总算发现了工作台中常人意想不到的另一支“隐形的手”，而且搞清楚了怎样规划工作台来减小它的影响。正是有了无数个像这样“一丝不苟的攻关”，才促成了我国首台IC光刻机的面世。

  “我也想结合这段攻关阅历，谈谈勇攀顶峰、敢为人先的立异精力的重要性。”陈学东介绍，德国一家公司凭借用永磁体做准零刚度这项立异，做成了减振器职业标杆，成为阿斯麦光刻机的减振配套商。咱们剖析发现他们的技能其实仍是有缺点，所以咱们探索出一种新思路，通过十多年的不懈尽力，研制出新式准零刚度减振器，归纳功能完成逾越，总算处理了高端自动减振器国产自主可控难题。其实不仅是光刻机，像现在正在开展的无人配备、人形机器人等技能讨论研讨，都要求咱们发扬勇攀顶峰、敢为人先的立异精力。

  他总结说，敢为人先、勇攀顶峰，一丝不苟、精雕细镂，沉下心来、执着坚持等等，是科学研讨获得严重打破的要害。新时代的年轻人有奋发向上、有生机、有广大的视界，承继和发扬这些科学家精力，信任，未来一定能获得更大的打破。

  据悉，华科大“科学家精力进校园”系列活动的首场活动将于5月12日举办，陈学东院士将走进国家级示范性高中江苏省姜堰中学进行宣讲。