芯恩（青岛）集成电路有限公司请求等离子刻蚀腔相关专利以较低本钱精确预估新制程加工时刻

时间: 2025-02-21 03:49:35 |   作者: 产品中心

  金融界2025年1月28日音讯，国家知识产权局信息数据显现，芯恩（青岛）集成电路有限公司请求一项名为“等离子刻蚀腔的加工时刻猜测办法、体系及保护办法”的专利，公开号CN 119361407 A，请求日期为2023年10月。

  专利摘要显现，本发明供给一种等离子刻蚀腔的加工时刻猜测办法、体系及保护办法，该加工时刻猜测办法经过试验获取新制程下与边际环原料相同或附近的测验控片边际的至少一个方位的耗费速率，作为新制程下边际环的对应方位的耗费速率，由此能够依据现有制程下的等离子刻蚀腔的加工时刻(MTBC)和边际环的对应方位的耗费速率以及新制程下边际环的对应方位的耗费速率，预估出新制程下的等离子刻蚀腔的加工时刻，能够以较低的本钱且相对及时精确地评价出新制程劣等离子刻蚀腔的加工时刻，然后防止新制程导入所带来的危险。

  天眼查资料显现，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，坐落青岛市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。经过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目165次，知识产权方面有商标信息15条，专利信息508条，此外企业还具有行政许可55个。

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