复旦教授谈最新国产光刻机：跟ASML光刻机比仍落后近20年

时间: 2024-11-09 21:02:42 |   作者: 产品中心

  在全球科技竞争之舞台，光刻机就像是一个明亮的灯塔，承载着半导体产业的明日希望。

  国际光刻机技术水平，就像一座座高耸入云的山峰，其中荷兰ASML公司的EUV光刻机，就像是珠穆朗玛峰般的存在。

  ASML的EUV光刻机，可以在一定程度上完成3nm甚至更先进制程的芯片制造，这就像是用激光在头发丝上，雕刻出一幅微缩的蒙娜丽莎，精度之高令人叹为观止。

  不仅如此，ASML的光刻机还拥有惊人的生产效率和稳定能力，就像是一台永不疲倦的超级工厂，日夜不停地生产着未来科技的心脏。

  ASML光刻机的成功，非一朝一夕之功，他们融合了德国蔡司的镜头技术、美国的光源技术等多国精华，并非独自研发而成。

  与之相比，中国的光刻机发展，则像是一个正在快速成长的少年，虽然还不够强壮但潜力很大。

  近期，中国成功研发出了氟化氩光刻机，这无疑是一个重要的里程碑，这台国产光刻机的分辨率已达到了65nm以下，套刻精度更是达到了8nm，能够适用于制造55nm甚至更先进的芯片。

  值得注意的是，中国的光刻机发展策略并非盲目追求最高端，相反，它更注重实用性和市场需求。

  例如，目前的国产光刻机虽然无法制造最先进的5nm芯片，但在军事、工业等领域的成熟制程芯片制造中，已经能够发挥重要作用。

  在谈论中国光刻机与国际领先水平的差距时，复旦大学政治系沈逸教授的评价，如当头一棒令人深思。

  让我们先来看看这20年差距的具体表现，在技术指标方面，以荷兰ASML公司的EUV光刻机为标杆，其分辨率已达到了惊人的3nm，甚至有望突破2nm大关。

  精度之高令人叹为观止，相比之下，中国最新研发的氟化氩光刻机，其分辨率为65nm，套刻精度为8nm。

  相较国际顶尖水平虽尚存差距，然已能满足 55nm 乃至更先进芯片的制造所需，且与国际水平的差距正渐次缩小。

  ASML的光刻机工作十分稳定，每小时能处理上百片晶圆，国产光刻机在这方面还有非常长的路要走。

  但我们也不可以忽视中国光刻机的进步速度，从完全依赖进口到自主研发成功，中国仅用了不到十年的时间，这种进步速度，就像是从学步到跑步的孩子，每一天都在快速成长。

  作为复旦大学政治系的教授，沈逸的专业背景并非工程技术，而是国际关系和政治学，这样的背景让他能够从更宏观的角度看待技术发展问题。

  他的评价不仅仅基于技术指标的对比，更多是考虑了整个产业链的成熟度、技术积累的时间、以及在全球科学技术竞争中的战略地位。

  沈逸教授的评价虽然看似严厉，但也体现了一种客观务实的态度，他指出，中国的光刻机虽然还有差距，但已经是采用非美工艺和产业生态搞出来的，这本身就是一个巨大的成就。

  这就像是在一场马拉松比赛中，虽然还没有赶上领跑者，但已经找到了自己的节奏和路线。

  2024年9月，工信部公开推广的两款国产DUV光刻机引起了广泛关注，其中，氟化氩光刻机的成功研发，犹如在这场技术竞赛中实现了一次漂亮的跨栏。

  虽然与国际顶尖水平相比还有差距，但已能满足55nm甚至更先进芯片的制造需求，与国际水平的差距正在慢慢地缩小。

  差距的存在是不争的事实，其背后的原因也可以让我们深思，历史因素和起步晚无疑是根本原因之一。

  当ASML等国际巨头已经在光刻机领域深耕数十年时，中国才刚刚起步，技术积累的时间差，导致了在核心技术、关键材料和精密控制等方面的巨大鸿沟。

  另一个不容忽视的因素是技术封锁和国际竞争的压力，在全球科学技术竞争日益激烈的背景下，先进光刻机技术成为了各国争夺的焦点。

  美国联合荷兰等国对中国实施的技术封锁，就像是在这场马拉松中设置了重重障碍，这不仅限制了中国获取最先进设备的机会，也在某些特定的程度上阻碍了技术交流和合作。

  面对光刻机技术存在的显著差距，中国毅然摒弃坐以待毙之态，精心制定了一套逐步推进的追赶策略。

  这就像是在没有地图的情况下，自己探索出一条通往山顶的路，长春光机所在EUV技术上的突破，如同在这条艰难的道路上点亮了一盏明灯。

  面对光刻机技术的巨大差距，中国并未选择坐以待毙，而是制定了一套循序渐进的追赶策略。

  中国光刻机发展的战略规划，可以概括为“三步走”，首先，从干式光刻机技术入手，掌握核心技术，其次，向浸润式光刻机技术进军，缩小与国际领先水平的差距。

  最后，实现EUV光刻机的突破，达到世界领先水平，这个规划就像是一个精心设计的训练计划，每一步都有明确的目标和挑战。

  在这个过程中，潜在的突破点和机遇也逐渐显，例如，在军事和工业应用的成熟制程芯片制造领域，国产光刻机已经展现出了巨大潜力。

  在追赶的过程中，如何平衡国际合作与竞争，也是一个棘手的问题，就像是在一场既需要团队协作又充满竞争的体育比赛中，既要学会与他人合作，又要保持自己的竞争优势。

  技术引进与自主创新的权衡，就像是在决定是买现成的鱼，还是学习钓鱼技术，短期内，技术引进可能会带来快速进步，但长远来看，只有掌握核心技术才能真正立于不败之地。

  中国在这方面的策略是，在引进消化吸收的基础上，大力推进自主创新，在全球产业链中，中国正努力从单纯的制造环节向研发、设计等高的附加价值环节转变。

  面对现实的差距，保持客观清醒的认识至关重要，正如复旦大学教授沈逸所言，承认差距并不可怕，可怕的是不去正视它。

  这种态度就像是一面镜子，让我们也可以清楚地看到自己的优势和不足，持续投入和长期发展的必要性不言而喻。

  光刻机技术的进步不是一朝一夕的事，需要长期的资产金额的投入、人才教育培训和技术积累，这就像是培育一棵大树，需要日复一日的浇灌和照料，才能最终长成参天大树。

  作为中国人，一个真正的爱国者，看到中国与外国科技差距，是沉下身去工作钻研，为了民族伟大复兴而努力，而不是唾沫星子满天飞，跳脚指责骂天怨地。

  长期任职于中国科学院武汉病毒研究所的石正丽研究员已赴广州实验室工作。10月31日，武汉大学官网发布了一则“严欢团队Nature发文首次提出人工设计病毒受体”的消息。其中，该消息披露了论文共同通讯作者石正丽的任职单位为广州实验室、中国科学院武汉病毒研究所。

  夺命大火多由当事人无视安全、各防控环节失守导致。今年1月发生在江西新余佳乐苑临街店铺的火灾事故造成39人死亡，9人受伤。记者跟随国务院事故调查组在调查过程中独家获取了事发现场的视频，通过影像分析还原了这起重特大火灾事故发生的经过。

  选择伴侣时，你最看重什么样的条件？爱情市场的终极规律真的是门当户对吗？实验模拟相亲，会出现什么状况？不社交、不主动，会有从天而降的爱情吗？

  中国首部全面介绍孤独症的行业报告《中国自闭症儿童发展状况报告》显示：我国有孤独症患者1000万。同时最近的20多年来的流行病学调查多个方面数据显示，孤独症全世界内患病率均出现上涨的趋势，全球患病率估算在1%左右。这在某种程度上预示着对孤独症群体的支持，是一个需要全社会关注的问题。

  文睿之悦编辑睿之悦2024年11月4日凌晨，载着全国14亿人期待的神舟十八号顺利回到地球。随后就是三位航天员的出舱，可被抬出来的三位航天员虽然面带微笑，但脸部却明显的浮肿了起来。那么，为什么航天员们会出现面部浮肿的情况呢？而残酷的太空环境对身体又有着怎样的影响呢？

  在阅读此文之前，麻烦您点击一下“关注”，感谢大家的支持哦。文柯儿编辑柯儿前言“土里挖宝藏，河里捞人命？”2002年，一位母亲报警称，自家的儿子和媳妇不见了，他们出去度蜜月天天都会给家里报平安，却突然消失联系不上了。

  请您在阅读前，先点击上面的“关注”。感谢您的支持，我们将为您带来更多有价值的内容。已确定进入11月份，临近年底，天气也是越来越冷了，随着温度的下降，很多电动车车主也是发现电动车跑的没有之前远了，同样的充电时间，同样的满电，少跑10km。是不是随气温的下降，电池的活性就会下降呢？