中微公司公司新闻
时间: 2024-11-12 03:20:55 | 作者: 移动式蒸汽清洗机
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·中微公司取得发明专利授权:“等离子体反响器及其射频功率散布调理办法”
·中微公司取得发明专利授权:“一种托爪、气锁室及等离子体处理设备主机渠道”
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·中微公司取得发明专利授权:“下电极组件、等离子体处理设备和替换聚集环的办法”
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·中微公司取得实用新型专利授权:“用于支撑基片托盘的支撑组件及外延层成长设备”
·中微公司发布世界专利申请:“一种多孔塞组件、静电吸盘及等离子体刻蚀设备”
·中微公司取得发明专利授权:“静电吸盘设备及包含该静电吸盘设备的等离子体处理设备”
·中微公司取得实用新型专利授权:“用于支撑基片托盘的支撑组件及外延层成长设备”
·中微公司取得发明专利授权:“一种用于超深宽比刻蚀的等离子反响器及其刻蚀办法”
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·中微公司发布世界专利申请:“一种晶圆处理办法及用于晶圆处理的刻蚀-堆积一体设备”
·中微公司取得实用新型专利授权:“等离子体束缚环、束缚组件及等离子体处理设备”
·中微公司: 公司将在定时陈述中面向一切投资者一致发表到陈述期末的股东人数
·中微公司取得发明专利授权:“用于真空设备的调平组织和等离子体处理设备”
·中微公司取得发明专利授权:“半导体零部件、等离子体反响设备和涂层构成办法”
·中微公司取得发明专利授权:“电感耦合型等离子处理设备及其盖体、介电窗温控办法”
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