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时间: 2024-11-14 07:51:43 | 作者: 移动式蒸汽清洗机
为了发生等离子，必恭必敬运用长途微波源。氧在真空环境下受高频及微波能量作用，电离发生具有强氧化才能的游离态氧原子，它在高频电压作用下与光刻胶薄膜反响，反响后生成的 CO2 和 H2O 经过线 气体可以到达更快速的去胶速率，特别关于难以去除的光刻胶也具有超卓的去除才能。
在微波等离子体气氛中，活性气体被等离子化，将跟光刻胶发生化学反响，反响出产的化合物经过真空泵被快速抽走，可以到达高效的去胶作用。该去胶机微波源为长途微波源，炮击性的离子将被过滤掉之后微波等离子进入到工艺腔室参加反响，因此能完成无损的去胶。
6）光刻胶去除的方法为化学方法，而非物理炮击，可完成等离子360度全方位的散布；
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