迈为股份取得发明专利授权：“用于清洗工艺腔室的办法及其运用”

时间: 2025-02-26 17:34:28 |   作者: 移动式蒸汽清洗机

  证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现迈为股份(300751)新取得一项发明专利授权，专利名为“用于清洗工艺腔室的办法及其运用”，专利请求号为CN0.9，授权日为2025年2月18日。

  专利摘要：本请求揭露了一种用于清洗工艺腔室的办法及其运用，归于真空镀膜出产设备技术领域。一种用于清洗工艺腔室的办法，包含：(a)发动长途等离子体体系，清洗工艺气体被激起成等离子体，长途等离子体供给至工艺腔室；(b)当长途等离子体体系作业到达安稳状况后，再敞开工艺腔室内的射频电源体系，射频电源体系对坐落工艺腔室中的长途等离子体再次激起增强，在清洗时间段期间运用长途等离子体体系和射频电源体系两者一起效果清洁工艺腔室；©当清洗工艺腔室结束后，先封闭工艺腔室内的射频电源体系；(d)再封闭长途等离子体体系。本请求能够缓解当时清洗方法存在的刻蚀速率慢、刻蚀规模窄或不能全方面掩盖的问题，能进步清洗刻蚀功率及速率。

  今年以来迈为股份新取得专利授权15个，较去年同期增加了25%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了4.19亿元，同比增47.24%。

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