Diener等离子去胶机

时间: 2025-03-01 23:14:34 |   作者: 移动式蒸汽清洗机

  圆形高硼硅玻璃反响舱原料腔体、MFC品牌类型德国Vgtlin数字流量计、皮拉尼压力传感器、石英舟硅片架。

  1、选用桌上型PCCE 操控型7寸触摸屏，具有主动/手动操控形式，自在切换主动操控形式下可存储多达 50 套以上工艺程序，实时显现工艺进程，经过图表和数字实时显现气体流量、压力、等离子清洗时刻、功率等工艺参数。 2、数据主动保存，可经过USB 接口导出数据。 3、安全功用：具有温度、压力、门锁互锁功用，依据工艺要求设定抽气时刻误差、气体流量误差、腔体压力误差、功率输出误差等报警值。 4、工艺气路接口Swagelok/6mm冲刷气体接口Swagelok/6mm灰心接口Swagelok/10mm，外观尺度:宽560x高600x深600(mm)。 5、选用MFC数字质量流量计，操控气体流量。操控精度1%，MFC品牌类型德国Vgtlin。选用皮拉尼压力传感器。 6、腔体圆形高硼硅玻璃反响舱原料，线寸晶圆，并向下兼容 6寸、4寸及小片。 7、射频发生器13.56MHz，功率：0~300W，功率可调（最大300W）。 8、干式罗茨真空泵，kashiyama Neodry15E-2，排气速度15m³/H，极限线、配有石英退火舟石英硅片架，插片开槽式石英晶舟。 10、双路作业气体(O2，Ar，N2)。360度外置盘绕式8 段电极。

  1、该设备仅作活化、外表处理改动亲疏水性运用；2、测验C7500正性光刻胶去胶速度300nm/h；3、测验硅片外表氧气外表改性：线.414°；4、测验石英玻璃片外表氧气外表改性：线.936°；5、测验双抛蓝宝石片外表氧气外表改性：线.137°；6、测验氮化镓外延片外表氧气外表改性：线min，接触角变小63.683°。