一种等离子去胶机晶圆盒转移组织的制作办法

时间: 2025-03-01 23:15:33 |   作者: 移动式蒸汽清洗机

  1.本实用新型归于晶圆盒转移技能范畴，更详细地说，特别触及一种等离子去胶机晶圆盒转移组织。

  2.硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，构成硅晶圆片，也便是晶圆，在晶圆出产后会经过胶粘附在装载盒内，晶圆在使用时，需求将晶圆经过装载盒放置在离子去胶机内进行去胶，为越来越好的对晶圆进行去胶，需求在去胶机内设置晶圆盒转移组织，在晶圆盒放置在离子去胶机内时会呈现晃动与位移的现象，影响去胶机的去胶作用，在晶圆盒在离子去胶机内转移时需求手动转移，在转移时会呈现误差，晶圆盒手动转移时也比较吃力。

  3.所以，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研讨改进，供给一种等离子去胶机晶圆盒转移组织，以期到达更具有愈加实用价值性的意图。

  4.为了处理上述技能问题，本实用新型供给一种等离子去胶机晶圆盒转移组织，以处理在晶圆盒放置在离子去胶机内时会呈现晃动与位移的现象，影响去胶机的去胶作用，在晶圆盒在离子去胶机内转移时需求手动转移，在转移时会呈现误差，晶圆盒手动转移时也比较吃力的问题。

  5.本实用新型用于一种等离子去胶机晶圆盒转移组织的意图与成效，由以下详细技能办法所达到：

  7.所述支撑座的底部设有一个设备板，设备板上开设有用于设备固定螺栓的腰圆孔；

  8.转移组织，所述转移组织卡接在支撑座的上方；滑动座，所述滑动座螺纹衔接在转移组织的外侧；

  9.夹紧组件，所述夹紧组件对称卡接在滑动座的上方；晶圆放置盒，所述晶圆放置盒卡接在夹紧组件的内侧；

  10.去胶机，所述去胶机的右侧开设有一个放置槽，支撑座经过螺栓固定在放置槽内。

  11.进一步的，所述支撑座的上方对称设有两个矩形支撑板，左边的支撑板内侧设有一个滚动衔接座，右侧的支撑板中心方位开设有一个圆形孔。

  14.螺纹杆，螺纹杆设在支撑座的两个支撑板之间，螺纹杆的左端滚动衔接在支撑板的滚动衔接座内，螺纹杆的右侧与伺服电机相衔接，滑动座的中心方位开设有一个与螺纹杆相符合的螺纹孔，螺纹杆交叉于滑动座的螺纹孔内；

  15.榜首限位杆，榜首限位杆共有两个，两个榜首限位杆对称卡接在支撑座的两个支

  撑板之间，滑动座上对称开设有两个与榜首限位杆相符合的圆形孔，榜首限位杆交叉于滑动座的圆形孔内。

  17.挡板，挡板为t形结构，挡板的外侧设有四个相对称的圆弧结构卡块，滑动座的上方对称开设有两个与挡板相符合的卡槽，挡板卡接在滑动座的卡槽内；

  18.第二限位杆，第二限位杆共有两个，滑动座的上方对称开设有两个t形结构的滑动槽，第二限位杆卡接在滑动座的滑动槽内，第二限位杆的外侧卡接有弹性件，挡板上开设有一个与第二限位杆外侧相符合的圆形孔，第二限位杆交叉于挡板的圆形孔内；

  20.夹紧板，夹紧板为矩形结构，夹紧板的底部设有一个t形结构的滑动块，夹紧板的滑动块卡接在滑动座的滑动槽内，夹紧板内开设有设备孔，橡胶垫卡接在夹紧板的设备孔内，夹紧板的滑动块上开设有一个与第二限位杆相符合的圆形孔，第二限位杆交叉于滑动块的圆形孔内。

  22.在去胶机的内侧设置有经过螺栓固定的支撑座，支撑座的上方设有转移组织，支撑座对转移组织进行支撑，转移组织的详细结构如下：

  23.在支撑座的上方设置有螺纹杆，滑动座开设有与螺纹杆相衔接的螺纹孔，螺纹杆在滚动时带动滑动座移动，滑动座移动时对晶圆放置盒进行转移。

  24.在滑动座的上方设置有t形结构的滑动槽，夹紧板的底部卡接在滑动座的滑动槽内，滑动座的滑动内内设置有第二限位杆，第二限位杆交叉与夹紧板的底部，第二限位杆的外侧卡接有弹性件，滑动座上的滑动槽便利夹紧板的滑动，夹紧板的滑动设置便利对不同巨细的晶圆放置盒进行夹紧，弹性件对夹紧板向内侧支撑，然后便利晶圆放置盒的设备与拆开。

  25.在滑动座的上方设置有卡接的挡板，挡板对夹紧板的滑动块进行阻挠，挡板还对第二限位杆进行支撑，挡板的卡接便利夹紧板的设备与拆开，在夹紧板的一侧设置有卡接的橡胶垫，橡胶垫使得晶圆放置盒的夹紧作用更好些。

  31.1、支撑座；2、转移组织；201、伺服电机；202、螺纹杆；203、榜首限位杆；3、滑动座；4、夹紧组件；401、挡板；402、第二限位杆；403、橡胶垫；404、夹紧板；5、晶圆放置盒；6、去胶机。

  32.下面结合附图和施行例对本实用新型的施行办法作进一步详细描绘。以下施行例

  33.在本实用新型的描绘中，除非还有阐明，“多个”的意义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或方位联系为根据附图所示的方位或方位联系，仅是为便于描绘本实用新型和简化描绘，而不是指示或暗示所指的设备或元件必定要有特定的方位、以特定的方位结构和操作，因而不能了解为对本实用新型的约束。此外，术语“榜首”、“第二”、“第三”等仅用于描绘意图，而不能了解为指示或暗示相对重要性。

  34.在本实用新型的描绘中，需求阐明的是，除非还有清晰的规则和限制，术语“相连”、“衔接”应做广义了解，例如，可所以固定衔接，也可所以可拆开衔接，或一体地衔接；可所以机械衔接，也可所以电衔接；可所以直接相连，也可以终究靠中心前言直接相连。关于本范畴的一般技能人员而言，可以详细情况了解上述术语在本实用新型中的详细意义。

  38.支撑座1的底部设有一个设备板，设备板上开设有用于设备固定螺栓的腰圆孔，支撑座1的上方对称设有两个矩形支撑板，左边的支撑板内侧设有一个滚动衔接座，右侧的支撑板中心方位开设有一个圆形孔，使用时，支撑座1和支撑板相配合对转移组织2进行支撑；

  39.转移组织2，转移组织2卡接在支撑座1的上方，转移组织2包含有伺服电机201，伺服电机201经过螺栓固定在去胶机6的外侧；螺纹杆202，螺纹杆202设在支撑座1的两个支撑板之间，螺纹杆202的左端滚动衔接在支撑板的滚动衔接座内，螺纹杆202的右侧与伺服电机201相衔接，滑动座3的中心方位开设有一个与螺纹杆202相符合的螺纹孔，螺纹杆202交叉于滑动座3的螺纹孔内；榜首限位杆203，榜首限位杆203共有两个，两个榜首限位杆203对称卡接在支撑座1的两个支撑板之间，滑动座3上对称开设有两个与榜首限位杆203相符合的圆形孔，榜首限位杆203交叉于滑动座3的圆形孔内，使用时，伺服电机201驱动螺纹杆202滚动，螺纹杆202在滚动时带动滑动座3左右移动，榜首限位杆203一方面与滑动座3进行支撑，另一方面滑动座3滑动时经过榜首限位杆203进行周向限位；

  41.夹紧组件4，夹紧组件4对称卡接在滑动座3的上方，夹紧组件4包含有挡板401，挡板401为t形结构，挡板401的外侧设有四个相对称的圆弧结构卡块，滑动座3的上方对称开设有两个与挡板401相符合的卡槽，挡板401卡接在滑动座3的卡槽内，挡板401对夹紧板404的滑动块进行阻挠，挡板401还对第二限位杆402进行支撑，挡板401的卡接便利夹紧板404的设备与拆开；第二限位杆402，第二限位杆402共有两个，滑动座3的上方对称开设有两个t形结构的滑动槽，第二限位杆402卡接在滑动座3的滑动槽内，第二限位杆402的外侧卡接有弹性件，挡板401上开设有一个与第二限位杆402外侧相符合的圆形孔，第二限位杆402交叉于挡板401的圆形孔内；橡胶垫403，橡胶垫403共有两个，橡胶垫403的一侧开设有波纹状的凹槽，橡胶垫403对晶圆放置盒5的夹紧作用更好些；夹紧板404，夹紧板404为矩形结构，夹紧板404的底部设有一个t形结构的滑动块，夹紧板404的滑动块卡接在滑动座3的滑动槽内，夹紧板404内开设有设备孔，橡胶垫403卡接在夹紧板404的设备孔内，夹紧板404的滑动块上开设有一个与第二限位杆402相符合的圆形孔，第二限位杆402交叉于滑动块的圆形孔

  内，弹性件对夹紧板404向内侧支撑，然后使夹紧板404和橡胶垫403相配合对晶圆放置盒5夹紧，第二限位杆402对弹性件进行限位，弹性件的设置便利晶圆放置盒5的设备与拆开；

  43.去胶机6，去胶机6的右侧开设有一个放置槽，支撑座1经过螺栓固定在放置槽内。

  45.使用时，首要将该设备经过支撑座1设备在去胶机6的放置槽内，然后操控伺服电机201驱动螺纹杆202滚动，使滑动座3向外侧移动，滑动座3在移动时会带动夹紧组件4向外侧移动，然后将两个夹紧板404向两边推进，将晶圆放置盒5放置在两个橡胶垫403之间，橡胶垫403在复位绷簧的推进下对晶圆放置盒5进行夹紧，然后操控伺服电机201驱动螺纹杆202反向滚动，使夹紧组件4带动晶圆放置盒5向去胶机6的内侧移动，完结晶圆放置盒5的转移，经过去胶机6对晶圆放置盒5和晶圆进行去胶。

  46.本实用新型的施行例是为了示例和描绘起见而给出的，而并不是无遗失的或许将本实用新型限于所揭露的方式。许多修正和改变关于本范畴的一般技能人员而言是清楚明了的。挑选和描绘施行例是为了更好阐明本实用新型的原理和实践使用，而且使本范畴的一般技能人员可以了解本实用新型然后规划适于特定用处的带有各种修正的各种施行例。

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