等离子去胶机(SAT 100)

时间: 2025-08-07 06:59:04 |   作者: leyucom乐鱼体育

  SAT 100等离子去胶机（Plasma）是一种运用低温等离子体技能，以干法方法高效去除晶圆、基板或其他资料外表光刻胶及有机污染物的专用设备。

  首要运用: 1.外表清洁 2.外表活化 3.键合 4.去胶 5.金属复原 6.简略刻蚀 7.去除外表有机物 8.疏水试验 9.堆积试验 10.构成新的基团 11.镀膜前处理等

  2.真空值可自在设定,(规模:10—60帕)为外加气体供给了牢靠的辉光发动环境,为辉光纯度供给了有利的确保,确保了试验作用的准确性和牢靠性.

  5.电容式（CCP）激起,试验作用安稳,均匀牢靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.

  8.运用气体电离后产生的等离子体的反响活性与资料外表产生的物理或许化学反响，使资料外表成分、组成和结构产生变化，并能得到某些特定的基团。

  9.无需任何耗材，运用成本低，无需特别来保护，在日常运用中坚持仪器清洁即可。

  也可接入无腐蚀性、无毒的作业液体溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入作业液体需求选配接枝仪来配套运用。