使用资料请求在等离子体处理腔室中经过 VI 传感器和 RF 发生器的无线数据通讯专利提高通讯功率

时间: 2025-08-07 06:59:38 |   作者: leyucom乐鱼体育

  金融界 2025 年 5 月 9 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，使用资料公司请求一项名为“在等离子体处理腔室中经过 VI 传感器和 RF 发生器的无线数据通讯”的专利，揭露号 CN119948611A，请求日期为 2023 年 8 月。

  专利摘要显现，本文揭露的施行例包含一种确诊基板。在一个施行例中，所述确诊基板包含：基板；以及传感器，所述传感器在所述基板上。在一个施行例中，所述确诊基板进一步包含：通讯模块，所述通讯模块在所述基板上，所述通讯模块通讯耦合至所述传感器。在一个施行例中，所述通讯模块包含：输出天线；开关，所述开关耦合至所述输出天线；以及信号源，所述信号源耦合至所述开关。

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